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簡要描述:日本MEG對齊單元X9113-C用于精密機械/光學(xué)設(shè)備的定位校準(zhǔn)(如半導(dǎo)體設(shè)備、顯微鏡等),具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調(diào)整功能。自動化檢測設(shè)備(CCD相機定位)。
深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113-C 產(chǎn)品特點如下:
日本MEG對齊單元X9113-C用于精密機械/光學(xué)設(shè)備的定位校準(zhǔn)(如半導(dǎo)體設(shè)備、顯微鏡等),具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調(diào)整功能。
特長小型鉚接型機身口30mm凝聚鉚接所需的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。
扭力類型長沖程可對應(yīng)廣泛用途,備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號,小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等,緩沖類型長沖程,適用于各種用途,備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號。
備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動方式等多種種類,提供多種驅(qū)動方式可供選擇。
不能改變指狀物的數(shù)量,沖程可以根據(jù)脈沖數(shù)而改變,(帶電機的型號)5速度可通過運行頻率、加減速時間的設(shè)定進(jìn)行變更(馬達(dá)型號)。
在狹小空間也能發(fā)揮高精度定位的定位單元和開發(fā)的小型對準(zhǔn)單元,控制身體寬度的苦心設(shè)計,即使在小沖程輸送的狹小空間內(nèi)也能實現(xiàn)精確的工件定位。
小型指狀物配置于機身頂部,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭。
小型A型I指狀物配置在機身上面,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊,還準(zhǔn)備了實現(xiàn)閉環(huán)的STEP 。
小型AP型I被配置在實體側(cè)面,實體安裝從實體上面用M3螺絲擰緊,還準(zhǔn)備了可實現(xiàn)閉環(huán)的 STEP馬達(dá)。
以小型高精度重復(fù)精度高的凸輪為基礎(chǔ),鉚釘采用無背襯機構(gòu),緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能,可進(jìn)行高精度定位,輕巧、不別扭的工作通過采用無限軌道線性導(dǎo)軌,實現(xiàn)輕快、不別扭的工作,具有良好的高速響應(yīng)能力,高速定位利用步進(jìn)電機和小慣性凸輪機構(gòu),定位響應(yīng)速度可達(dá)0.1sec(全行程)
小而長壽命簡單且不給鰭片驅(qū)動部過載的結(jié)構(gòu),因此具有出色的耐久性,是可以長期使用的高經(jīng)濟(jì)性對準(zhǔn)單元。
通過無沖擊動作步進(jìn)的加減速控制,即使高速也能實現(xiàn)柔和的定位,吹氣端口本體設(shè)有M5端口孔,通過吹干空氣,防止異物從本體上部角孔侵入。
對齊單元X9113-C介紹
基本功能
用于精密機械/光學(xué)設(shè)備的定位校準(zhǔn)(如半導(dǎo)體設(shè)備、顯微鏡等)。
具備高精度位移控制(微米/納米級)或角度調(diào)整功能。
技術(shù)參數(shù)
精度:±0.1 μm 或更高(取決于應(yīng)用場景)。
行程范圍:線性或旋轉(zhuǎn)式,具體數(shù)值需確認(rèn)。
驅(qū)動方式:壓電陶瓷、伺服電機或手動微調(diào)。
兼容性:可能支持標(biāo)準(zhǔn)接口(如ISO法蘭、螺紋孔位)。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造(光刻機晶圓對準(zhǔn))。
光學(xué)儀器(激光路徑校準(zhǔn))。
自動化檢測設(shè)備(CCD相機定位)。
特點
高剛性材料(如陶瓷或不銹鋼)以減少熱變形。
可選配傳感器反饋(閉環(huán)控制)。
規(guī)格
公司代理和銷售優(yōu)勢品牌明細(xì)